扩散炉经历开管-闭管-全封闭(软着陆)-负压扩散几个阶段，由于能提升扩散均匀性和产能，降低能耗，实现高方阻(目前70Ω/□，目标90～100Ω/□)。从2015年起，在通威股份、隆基股份等电池片产能扩张较大的产线中，已开始大量使用负压扩散炉，主要设备生产厂商包括七星华创、丰盛、捷佳创、中电科48所等。技术提升明显，设备已达国际先进水平：我国光伏专用扩散设备正从处理125mm×125mm、156mm×156mm方硅片向210mm×210mm方硅片迈进，目前仍以156mm×156mm方硅片为主；扩散的质量从原来的单片和整管扩散均匀性在7%以内的水平，提高到目前单片和整管扩散均匀性在4%以内（常规扩散达到5%以内，负压扩散达到3%以内）的国际先进水平；扩散方式从原来的开管扩散到现在的负压扩散；单批次产能从原来的150片、200片、300片发展到目前的500片，尤其是现今市场应用规模较大的负压扩散，单批次产能达到800~1000片，同时能耗及通源量大幅度减少，扩散方阻均匀性大幅度提高。
光伏产业主要产品产量持续高增长：2011-2016年间，我国光伏产品产量都在持续增长，成为世界第一的光伏制造大国。其中2016年多晶硅产量19.4万吨，同比增长17.6%；硅片产量63GW，同比增长31.3%；电池片产量49GW，同比增长19.5%；光伏组件产量53GW，同比增长15.7%。
光伏产品产量的持续增长为我国光伏装备市场发展营造良好的市场环境，光伏装备产业技术进步明显加快。“十二五”期间，光伏电池生产设备国产化率达到70%。根据中国电子专用设备工业协会统计，2015年我国主要晶硅太阳能电池设备制造商销售收入15.44亿元；2016年销售收入22.84亿元，同比增长47.93%。
